平面度0.5的意思很简单，也就是在制作的过程中，要保证实际平面的起起伏伏和理想的平面之间的差距不要超过0.5，要确保误差是在0.5之下的，其实也就是在工艺节距之间平面度误差要保证在0.5之内。

平面度是指基片具有的宏观回凸高度相对理想平面的偏差。平面度是限制实际平面对其理想平面变动量的一项指标，用来控制被测实际平面的形状误差。平面度误差是将被测实际表面与理想平面进行比较，两者之间的线值距离即为平面度误差值。