光刻机是啥
又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备 常用的光刻机是掩膜对准光刻，所以叫MaskAlignmentSystem.一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。Photolithography（光刻）意思是用光来制作一个图形（工艺）；在硅片表面匀胶...
免责声明：本站内容（文字信息+图片素材）来源于互联网公开数据整理或转载，仅用于学习参考，如有侵权问题，请及时联系本站删除，我们将在5个工作日内处理。联系邮箱：303555158#qq.com（把#换成@）
扫一扫，添加客服微信