中国最先进的光刻机

精工科技 精工科技：浙江精工集成科技股份有限公司于2000年09月10日成立。法定代表人孙国君。精工科技是一家专业生产光刻机的企业，其产品包括紫外光源、曝光系统等核心部件。 中科院光电所 中科院光电所：中科院光电所是中国光刻机领域的重要研发机构，其研发的光刻机技术在国际上处于领先水平。光电所主要研究领域及学科方向包括：光电跟踪测量、光束控制、自适应光学、天文目标光电观测与识别、先进光学制造...

上海微电子 上海微电子：上海微电子2020年10月20日，获得上海知识产权创新奖创造奖，2022年1月28日，国家发展改革委等部门关于印发2021年（第28批）新认定及全部国家企业技术中心名单的通知显示：该企业技术中心具有国家企业技术中心资格。 中科院光电所 中科院光电所：研究室共用检测技术所级中心共设置5个检测组，共有仪器30台套，可提供光学材料特性检测、光学零件面形误差检测...