三甲基氯硅烷水解通常是在潮湿空气中进行，遇水也会水解。三甲基氯硅烷无色透明液体，有挥发性，在潮湿空气中易水解而成游离盐酸。这是由于硅-卤键的特殊活泼性，由三甲基氯硅烷出发，可以合成有机硅化合物，如三甲基烷氧基硅烷、六甲基二硅氧烷、六甲基二硅氮烷、三甲基氰基硅烷等。因此，常常密封于阴凉干燥处保存。