超纯水作用于超纯材料的应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程。超纯水又称UP水，是指电阻率达到18MΩ*cm（25℃）的水。这种水中除水分子外，几乎没有杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，也没有人体所需的矿物质微量元素，是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。