实质性分析程序，是相对于内控风险流程了解来说的。实质性分析程序包括分析性复核、细节测试和补充测试。
分析性复核，是指对财务数据的对比分析。比如说，针对管理费用科目，我们会对比一下当年和上一年的变动金额和比例。对于变动大于一定金额和一定比例的项目，我们就要去分析看看是什么原因导致这样的变动。
细节测试，是指查看明细账和抽查凭证、发询证函等对特定会计科目比较固定的审计程序。
补充测试，是指根据专业判断，审计师认为需要额外追加的审计程序。